Optische Baugruppe, Verfahren zur Ansteuerung einer Optischen Baugruppe und Projektionsbelichtungsanlage

WO2022043004 Art A1 3. März 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022043004
Aktenzeichen: EP21755410
Anmeldetag: 2. August 2021
Veröffentlichung: 3. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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