Defekterkennung für Halbleiterstrukturen auf einem Wafer

WO2022058264 Art A1 24. März 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022058264
Aktenzeichen: EP21777297
Anmeldetag: 13. September 2021
Veröffentlichung: 24. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06K9/62G03F7/20G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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