Herstellungsverfahren und Messverfahren

WO2022073610 Art A1 14. April 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022073610
Aktenzeichen: EP20792560
Anmeldetag: 8. Oktober 2020
Veröffentlichung: 14. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/08G02B7/18G01B11/24G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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