Optische Komponente und Verfahren zur Justage der Optischen Komponente, sowie Projektionsbelichtungsanlage

WO2022078754 Art A1 21. April 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022078754
Aktenzeichen: EP21786155
Anmeldetag: 28. September 2021
Veröffentlichung: 21. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/182B25J9/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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