Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Aktoren in einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie

WO2022078886 Art A1 21. April 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022078886
Aktenzeichen: EP21790832
Anmeldetag: 8. Oktober 2021
Veröffentlichung: 21. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L41/08G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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