Übertragung von Ausrichtungsinformationen in der 3D-Tomographie von einem Ersten Satz von Bildern zu einem Zweiten Satz von Bildern

WO2022096144 Art A1 12. Mai 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022096144
Aktenzeichen: EP21790786
Anmeldetag: 14. Oktober 2021
Veröffentlichung: 12. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06T11/00G06T7/38G06T7/33H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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