Verfahren sowie Vorrichtung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Optischen Elements in einem Optischen System

WO2022156926 Art A1 28. Juli 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022156926
Aktenzeichen: EP21801446
Anmeldetag: 22. Oktober 2021
Veröffentlichung: 28. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/18G02B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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