Reflektives Optisches Element und Verfahren zur Reparatur Und/oder Aufbereitung eines Reflektiven Optischen Elements

WO2022161942 Art A1 4. August 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022161942
Aktenzeichen: EP22701958
Anmeldetag: 25. Januar 2022
Veröffentlichung: 4. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/118B60R1/22B60R11/04G02B1/16G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Optik & Fototechnik

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