Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, sowie Optisches System

WO2022171321 Art A1 18. August 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022171321
Aktenzeichen: EP21810297
Anmeldetag: 8. November 2021
Veröffentlichung: 18. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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