Filteranordnung, insbesondere für einen Regelkreis zum Regeln der Position wenigstens eines Elementes

WO2022171330 Art A1 18. August 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022171330
Aktenzeichen
EP21836386
Anmeldetag
7. Dezember 2021
Veröffentlichung
18. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H03H17/04H03H17/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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