Verfahren zur Justage eines Optischen Systems, insbesondere für die Mikrolithographie

WO2022171339 Art A1 18. August 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022171339
Aktenzeichen: EP21843892
Anmeldetag: 17. Dezember 2021
Veröffentlichung: 18. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/08G02B27/00G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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