Optisches System, Montagevorrichtung und Verfahren zur Positionsmessung eines Messobjekts

WO2022179906 Art A1 1. September 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022179906
Aktenzeichen: EP22706289
Anmeldetag: 16. Februar 2022
Veröffentlichung: 1. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B11/24G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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