Optische Baugruppe, Verfahren zur Deformation eines Optischen Elements und Projektionsbelichtungsanlage

WO2022180004 Art A1 1. September 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022180004
Aktenzeichen: EP22707117
Anmeldetag: 22. Februar 2022
Veröffentlichung: 1. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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