Messvorrichtung zum Interferometrischen Vermessen einer Oberflächenform

WO2022200210 Art A1 29. September 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022200210
Aktenzeichen: EP22716893
Anmeldetag: 18. März 2022
Veröffentlichung: 29. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02015G01B9/02G01B11/24G01B21/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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