Verfahren und Vorrichtung zum Ansprengen von Bauteilen

WO2022218793 Art A1 20. Oktober 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022218793
Aktenzeichen: EP22717408
Anmeldetag: 7. April 2022
Veröffentlichung: 20. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B81C3/00B81C99/00G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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