Projektionsbelichtungsvorrichtung und Verfahren zum Entwurf einer Komponente einer Projektionsbelichtungsvorrichtung

WO2022248433 Art A1 1. Dezember 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022248433
Aktenzeichen: EP22732446
Anmeldetag: 24. Mai 2022
Veröffentlichung: 1. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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