Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie

WO2022268775 Art A1 29. Dezember 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022268775
Aktenzeichen: EP22738354
Anmeldetag: 21. Juni 2022
Veröffentlichung: 29. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/195

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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