Temperaturmessvorrichtung, Lithographieanlage und Verfahren zum Messen einer Temperatur

WO2023012330 Art A1 9. Februar 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023012330
Aktenzeichen: EP22761203
Anmeldetag: 5. August 2022
Veröffentlichung: 9. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01K7/21G01K7/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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