Euv-Kollektor zur Verwendung in einer Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung

WO2023016882 Art A1 16. Februar 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023016882
Aktenzeichen: EP22761137
Anmeldetag: 3. August 2022
Veröffentlichung: 16. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von