Spiegeleinheit mit Kippbarem Spiegelelement

WO2023061598 Art A1 20. April 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023061598
Aktenzeichen: EP21794774
Anmeldetag: 14. Oktober 2021
Veröffentlichung: 20. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02B26/10G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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