Verfahren zur Messung einer Probe und Mikroskop mit dem Verfahren

WO2023061712 Art A1 20. April 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023061712
Aktenzeichen: EP22785728
Anmeldetag: 21. September 2022
Veröffentlichung: 20. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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