Optisches System, Lithographievorrichtung und Verfahren

WO2023079148 Art A1 11. Mai 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023079148
Aktenzeichen: EP22813287
Anmeldetag: 7. November 2022
Veröffentlichung: 11. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B81B7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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