Verfahren zur Messung einer Probe und Mikroskop mit dem Verfahren

WO2023083619 Art A1 19. Mai 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023083619
Aktenzeichen: EP22809139
Anmeldetag: 26. Oktober 2022
Veröffentlichung: 19. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G02B21/36G01Q30/00G01N23/225G03F9/00H01L21/68H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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