Vorrichtung und Verfahren zur Vermeidung einer Degradation einer Optisch Genutzten Oberfläche eines Spiegelmoduls, Projektionssystem, Beleuchtungssystem und Projektionsbelichtungsanlage

WO2023110338 Art A1 22. Juni 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023110338
Aktenzeichen: EP22821498
Anmeldetag: 23. November 2022
Veröffentlichung: 22. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/94

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von