3D-Volumeninspektion von Halbleiterwafern mit Erhöhter Genauigkeit

WO2023117262 Art A1 29. Juni 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023117262
Aktenzeichen: EP22818832
Anmeldetag: 22. November 2022
Veröffentlichung: 29. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N1/28G06T7/00H01J37/22H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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