Antriebsvorrichtung, Optisches System und Lithographievorrichtung

WO2023187148 Art A1 5. Oktober 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023187148
Aktenzeichen: EP23716485
Anmeldetag: 31. März 2023
Veröffentlichung: 5. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H03F3/20H02N2/02G02B7/185G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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