Temperaturunempfindlicher Aktuator und Verformungsspiegel

WO2023208565 Art A1 2. November 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023208565
Aktenzeichen: EP23717528
Anmeldetag: 6. April 2023
Veröffentlichung: 2. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H10N30/88G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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