Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage

WO2023227374 Art A1 30. November 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023227374
Aktenzeichen: EP23727247
Anmeldetag: 10. Mai 2023
Veröffentlichung: 30. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B26/08G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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