Verfahren zum Betreiben einer Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsanlage

WO2023237282 Art A1 14. Dezember 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023237282
Aktenzeichen: EP23726073
Anmeldetag: 10. Mai 2023
Veröffentlichung: 14. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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