Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements sowie Optisches System

WO2023241849 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023241849
Aktenzeichen: EP23726281
Anmeldetag: 3. Mai 2023
Veröffentlichung: 21. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B5/08G02B7/18G02B17/06G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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