Verfahren zum Abscheiden einer Schicht, Optisches Element und Optische Anordnung für den Duv-Wellenlängenbereich

WO2023274680 Art A1 5. Januar 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023274680
Aktenzeichen: EP22735356
Anmeldetag: 9. Juni 2022
Veröffentlichung: 5. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/04C23C14/22C23C14/24C23C14/34C23C14/46C23C14/50C23C14/54H01J37/32H01J37/34G02B1/113

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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