Messanordnung zum Erfassen eines Abstands zwischen Zwei Elementen, Abstandsmessvorrichtung, Optisches Vermessungssystem und Verfahren

WO2024017914 Art A1 25. Januar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024017914
Aktenzeichen: EP23744463
Anmeldetag: 18. Juli 2023
Veröffentlichung: 25. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/14G01B11/24G01B9/02055

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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