Optisches System, Lithographieanlage mit einem Optischen System und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Systems

WO2024023010 Art A1 1. Februar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024023010
Aktenzeichen: EP23748967
Anmeldetag: 24. Juli 2023
Veröffentlichung: 1. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H05K1/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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