Ansteuervorrichtung, Optisches System und Lithographieanlage

WO2024033320 Art A1 15. Februar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024033320
Aktenzeichen: EP23754265
Anmeldetag: 7. August 2023
Veröffentlichung: 15. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H03F3/345G02B5/09G02B7/08G02B26/08G02B27/09G03F7/00H03F1/02G02B7/182H03F3/45

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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