Verfahren zum Bearbeiten eines Referenzelements für ein Interferometer

WO2024056501 Art A1 21. März 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024056501
Aktenzeichen: EP23768503
Anmeldetag: 7. September 2023
Veröffentlichung: 21. März 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B9/02056G01B11/24G01B9/02055G01B21/04G01M11/02G02B5/32G02B27/09G02B27/42G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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