Vorrichtung zum Vermessen oder Bearbeiten von Objekten, Verfahren zum Betreiben

WO2024068449 Art A1 4. April 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024068449
Aktenzeichen: EP23782780
Anmeldetag: 22. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q30/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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