Messvorrichtung und Messverfahren zum Messen einer in einem Optischen System Abfallenden Spannung, Optisches System, und Lithographieanlage

WO2024068686 Art A1 4. April 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024068686
Aktenzeichen: EP23782814
Anmeldetag: 27. September 2023
Veröffentlichung: 4. April 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01R15/04G01R19/00G03F7/00G01R15/06G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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