Verbessertes Verfahren und Vorrichtung zur Segmentierung von Halbleiterinspektionsbildern

WO2024088923 Art A1 2. Mai 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024088923
Aktenzeichen: EP23794036
Anmeldetag: 23. Oktober 2023
Veröffentlichung: 2. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/149G06T7/136

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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