Spiegelelement, Lithographieanlage und Verfahren zum Bereitstellen eines Spiegelelements

WO2024099675 Art A1 16. Mai 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024099675
Aktenzeichen: EP23790558
Anmeldetag: 12. Oktober 2023
Veröffentlichung: 16. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B5/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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