Mechatronisches Element, Spiegel, Spiegelanordnung sowie Verfahren zu deren Herstellung

WO2024170221 Art A1 22. August 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024170221
Aktenzeichen: EP24701634
Anmeldetag: 22. Januar 2024
Veröffentlichung: 22. August 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B26/08G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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