3D-Volumeninspektionsverfahren und Verfahren zur Konfiguration eines 3D-Volumeninspektionsverfahrens

WO2024175376 Art A1 29. August 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024175376
Aktenzeichen
EP24705069
Anmeldetag
8. Februar 2024
Veröffentlichung
29. August 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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