Optisches System und Projektionsbelichtungsanlage

WO2024179820 Art A1 6. September 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024179820
Aktenzeichen: EP24705410
Anmeldetag: 13. Februar 2024
Veröffentlichung: 6. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B7/182G02B7/198G02B27/62

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von