Probenvorbereitung zur Bildgebung mit Geladenem Teilchenstrahl

WO2024184398 Art A1 12. September 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024184398
Aktenzeichen: EP24711124
Anmeldetag: 6. März 2024
Veröffentlichung: 12. September 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/305H01L21/66G01N1/32G01R31/307

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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