Kompensation der Sammelvariation einer Optischen Abtastvorrichtung für Geladene Teilchen

WO2024231004 Art A1 14. November 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024231004
Aktenzeichen: EP24718159
Anmeldetag: 8. April 2024
Veröffentlichung: 14. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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