Nichtplanare Verzerrungskorrektur in Fib-Sem

WO2024240611 Art A1 28. November 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024240611
Aktenzeichen: EP24726633
Anmeldetag: 16. Mai 2024
Veröffentlichung: 28. November 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/04B82Y35/00G01N23/2251G03F7/00H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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