Dämpfer, Verfahren zur Dämpfung und Vorrichtung mit einem Dämpfer

WO2024245662 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024245662
Aktenzeichen: EP24722037
Anmeldetag: 26. April 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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