Verfahren und System zum Trainieren eines Vorhersagemodells zur Erzeugung einer Zweidimensionalen Elementdarstellung eines Maskenmusters

WO2024245689 Art A1 5. Dezember 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024245689
Aktenzeichen: EP24724233
Anmeldetag: 3. Mai 2024
Veröffentlichung: 5. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/70G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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