Lebensdauerstabilisierung Beschichteter Optiken mittels Elektronenstrahlheizen

WO2024256578 Art A1 19. Dezember 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024256578
Aktenzeichen: EP24733553
Anmeldetag: 13. Juni 2024
Veröffentlichung: 19. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C03C17/06C03C23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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