Verfahren zur Messung des Widerstandes und der Kapazität Dünner Schichten Während der Abscheidung

WO2024256788 Art A1 19. Dezember 2024

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024256788
Aktenzeichen: EP24745987
Anmeldetag: 14. Juni 2024
Veröffentlichung: 19. Dezember 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/02C23C14/04C23C14/22C23C14/54C23C14/58C23C16/02C23C16/04C23C16/52C23C16/56H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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