Halbleiter-Prozessvorrichtung und Prozesskammer dafür

WO2024260329 Art A1 26. Dezember 2024

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024260329
Aktenzeichen
EP24825224
Anmeldetag
18. Juni 2024
Veröffentlichung
26. Dezember 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/35C23C14/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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